半导体生长温度原位监测系统,可装载于MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统和热处理、 退火等设备, 拥有丰富的材料数据库,有效集成Band-Edge Thermometry (BE) 半导体材料带边吸收技术、Blackbody Emission Fitting(BB)黑体辐射光谱曲线拟合技术、Broad Band Pyrometry (Emissivity-Corrected Pyrometry)可加装红外辐射系数修正功能的宽带*温计等多项k-Space技术,帮助您准确监测半导体材料生长过程中的温度变化!