kSA 400 RHEED图形分析系统:通过对RHEED入射电子能量的控制，用*分辨、*速CCD直接采集来自样品对电子束的衍射图像，并用专业软件系统对其进行图像处理和数据分析， 自动计算测量晶格间距、共振长度和振动强度等参数，同时通过衍射条纹的强度震荡曲线检测薄膜沉积速率等信息。