波前传感器，又称波前探测器、波前分析仪，是用于**测量和分析光学波前的设备。通过实时测定动态入射波前的相位畸变，为波前重构及校正提供信息。

夏克 - 哈特曼波前传感器：由微透镜阵列和光电探测器（CCD 或 CMOS）组成。平行入射光束经微透镜阵列，每个微透镜将光束汇聚到 CCD 上形成聚焦点。理想平面波经微透镜后成像位置为零点，畸变波前的聚焦成像点与零点的偏差可计算出波前的局部斜率，进而获取波前信息。

优点：灵活性*、适应性广、光谱范围宽，结构紧凑，对环境扰动抗干扰能力较强，波前重建算法轻量级，可实现*速波前重建。

主要特点

        Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射）

        紧凑结构

        光化性能检测

            -EUVL 等离子源

            -自由电子激光

            -HHG*次谐波束

        实时光学调整

        单个脉冲重复性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技术规格

        波长范围：<1nm~60nm（量子转换涂层）

        视场：9mmX6.7mm（可选更大尺寸）

        动态范围：14Bit

        Hartmann 盘：precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch

        倾角：±10°

        XY调节范围：±10mm

        UHV兼容：CF63法兰

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束测试软件

测试基于ISO标准