桌面型UV纳米压印系统，针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计，配备精密的温度控制和低压控制系统，使用方便，性能稳定可靠；同时配合压印模板，可实现各种微纳米图形加工，特征线宽小于20nm；

应用领域

光学器件，显示器，数据存储，生物技术，半导体芯片，化学合成，新型材料等。

技术性能

    • 操作方便：对熟悉半导体工艺的人来说，几小时的培训就能完全掌握设备的使用

    • 未来有升级功能

    • 客户可根据需求定制设备功能

    • 用户通过触摸屏来程序化控制处理过程；

    • 用户可自主设定工艺参数；

    • 真空吸附模板和Wafer

    • 具备UV固化功能

    • Wafer尺寸：4英寸；

    • 压印尺寸：2英寸；

    • 压印压力：0~25PSI（可升级到100PSI）
    • 模板尺寸：5×0.09英寸
    • 典型压印时间：小于5分钟/wafer