别名：弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，*功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光学材料光热效应测量仪

主要特点：

        光热效应测量

        激光诱导波前形变测量（Hartmann‐Shack）传感器

        测量分辨率<10pm (~ λ/10,000)

        实时吸收测量：ppm级灵敏度

        激光波长：≤193nm~>1000nm

                   (Hard x-rays, EUV 13.5nm,193nm, 248nm, 308nm, 351nm,

                    532nm, 355nm,1064nm,1070nm etc.)

Relaxation of wavefront deformation after heating pulse

Thermal lens in fused silica @193nm

主要应用：

        光学材料测试（EUV、DUV光学器件等，*功率紫外/深紫外/极紫外光学器件等）

        热透镜效应分析

        波前形变分析

        复杂光学瞬态畸变（如：F‐Theta平场聚焦镜头）

        质量控制

        *功率激光器（固体激光器、准分子激光器、CO2激光器等）

光束测试软件

测试基于ISO标准